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企業新聞

高精密切割用空氣主軸(英國ABL公司産品)

本公司是受CBBC(英中貿易協會)調查,認證,並得到英國ABL公司授權的中國大陸地區的空氣主軸産品的總代理。本産品是英國ABL公司爲半導體行業的矽片及石英等硬脆材料的切割而設計的高精密,高轉速的空氣主軸産品(軸承潤滑劑爲空氣,即非接觸式潤滑)。

一,主要特點

(1)可以根據客戶的具體要求進行設計;

(2)采用特殊的馬達設計,使本主軸具有體積小,高鋼性,高負荷的特點。

(3)各種主軸的固定方式可供選擇,使其可以做爲各類新老設備的主軸使用。

(4)高精密,低振動運轉,低能耗。

(5)根據客戶要求量身定做配套的切割刀架。

(6)價格低廉。

DS080A系列空氣主軸産品

本系列産品是專爲矽片,石英,玻璃等高硬脆材料設計的,最高轉速爲80000RMP的主軸産品。

高精密度的軸軒組裝是保證本産品的高精度及低能耗的關鍵。

本产品采用一种特殊设计的无刷直流电动机(Brushless DC moter)可以将齿槽间的扭矩降至最低。

客戶可以對下列各項進行選擇:

1,主轴的固定方式:机身式固定(Body mount),龙门式固定(Gantry mount), 前法兰式固定(Frant flange), 后法兰式固定(Rear flange)。

2,冷卻接口方式:标准式或后向式(Back face)。

3,切割刀片架。

4,左右旋轉的方式選擇。

最高轉速 80,000 RPM 径向钢性(Radial Stiffness)* 13 N/um
馬達功率 1.2 kW 径向负荷(Radial Load Capacity)* 140 N
空氣壓力 5.5-6.0 kgf/cm2 轴向钢性(Axial Stiffness) 10 N/um
空氣流動率 70-75 Nl/min 轴向负荷(Axial Load Capacity) 150 N
冷卻 水冷 轴偏(Dynamic Run Out) <1 um
冷卻水流量 >1.5 l/min 標准刀片尺寸 50 mm
冷卻水进水温度 15-19 °C 重量 7 kg

*由刀片位置的統計結果

KEYWORDS:空气润滑, 硅片切割, 石英切割, 玻璃切割, 蓝宝石切割, 高精密切割, 划片, 划片机主轴, 空气主轴, 蓝宝石划片, 硅片划片, 石英划片, 玻璃划片, 晶圆划片, 晶圆切割, DISCO, 东京精密, laodpoint, 流星, 日立, 空气轴承, 超精密空气主轴, 超高速空气主轴, 进口主轴, 气浮主轴,

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